传感原理

　　数显真空传感器通过物理效应与电子技术融合，实现真空度的实时监测与数字化显示。其核心传感原理分为压阻式与电容式两种：

　　压阻式：利用半导体材料的压阻效应，在硅膜片表面扩散形成惠斯登电桥。当真空度变化时，气体分子碰撞导致膜片形变，电桥失衡并输出与压力成正比的电信号。例如，在半导体制造中，0.1Pa的压力变化即可被捕捉，确保光刻工艺的精度。

　　电容式：由硅膜片与固定电极构成平行板电容器。真空度变化引起膜片形变，改变电容值，经测量电路转换为电压信号。例如，在真空镀膜中，电容式传感器可精确控制真空度，避免镀膜层出现针孔或裂纹。

　　信号处理电路

　　传感器输出的微弱信号需经多级处理才能转换为可读的数字信号，关键电路包括：

　　信号放大：采用差动比例放大器或仪表放大器抑制共模干扰，提升信噪比。例如，仪表放大器通过高共模抑制比（CMRR>80dB）消除环境噪声，确保信号稳定性。

　　调制与解调：为提高抗干扰能力，信号被调制为高频载波（如调幅波），传输后通过包络检波恢复原始信号。

　　A/D转换：将模拟信号转换为数字信号，分辨率可达1Pa，直接影响测量精度。例如，16位ADC可实现高分辨率采集。

　　非线性校正：通过软件算法（如查表法、插值法）补偿传感器特性曲线的非线性，确保输出与真空度呈线性关系。

　　数显与输出：处理后的信号驱动数码管或液晶屏显示真空度值，同时支持4-20mA电流输出或RS485通信接口，便于与PLC、DCS等控制系统集成。